BROOKS流量计，SLA5851S,多晶硅炉用
详细描述
SLA5851流量计是美国BROOKS流量计公司主要产品,具有**的性能.BROOKS SLA5851质量流量计安装方便,能很好的同现有的工业仪表兼容,在不同的工作环境下均有较高的精度.
美国BROOKS流量质量控制器技术参数:
数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
介质:可选**,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
流量范围:0.03-30slpm
工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
精度:±1%FS
信号输出:RS-232/RS-485接口,4-20mA输出控制,TTL**
SLA5851流量计内置微处理器，智能化、数字化。软件组态，数字通讯，支持微软**动态数据交换。
流量范围：0-30L/MIN；
精度：1%FS；
压力：1500psi；
温度：65℃；
输入/输出：0-5V；
电源：+/-15V
上海网磁电子有限公司**供应美国原装、**
的质量流量计－MFC,BROOKS。**用于制造
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用，适用的气体
有氮气、氩气、**气、氧气等纯净气体。
气体的量程：50－120SLM,数字和模拟兼容
电气接口：D型15针 管道接口：3/8"VCR
交货周期：4周左右，长期订货，周期还会短。
可以**替代和兼容MKS的相关流量计。