Aera FC-7800质量流量计
详细描述
Aera® FC-7800 系列MFC提供的流量控制以**的抗阻性能和**防漏的金属密封，适合大部分气体控制用。
性能：
快速的响应,响应时间＜2秒.
**的**性&**sh;&**sh;一年零漂移不到满标度流量的0.5%
易于整合&**sh;&**sh;标准连接器和尺寸
**的效果&**sh;&**sh;**的薄膜特性
特点:
耐腐蚀性，流量范围从10sccm－200slm
VCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性连接
**金属密封
常关或常开的电磁控制阀
泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He