Aera FC-7700质量流量计
详细描述
作为针对各种应用的业界公认标准，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供的流量控制，同时具备弹性密封的经济优势。对于半导体、平板显示器、数据储存、工业真空、及工业涂层的工艺及装备工程师，这一系列提供针对非腐蚀性气体应用（包括 CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺）的高度**性和**的性能。
性能:
快速响应&**sh;&**sh;设置点之间的流量沉淀时间不到2秒
**的**性&**sh;&**sh;一年零漂移不到满标度流量的0.5%
易于整合&**sh;&**sh;标准连接器和尺寸
**的效果&**sh;&**sh;**薄膜特性
特点:
弹性密封
VCR , VCO, 及 Swagelok共容的连接
满标度流量范围为10 sccm - 200 slm
常关或常开的电磁控制阀
的净化模式流量&**sh;&**sh;校准后多100次
泄漏率为1x10-6 atm-cc/sec of He