Aera FC-D980 数码质量流量计
详细描述
Aera FC-D980 系列数码 MFC(质量流量控制器)和 MFM(质量流量计)具有**的性能和通用性,从而大幅节约了成本且易于使用。多种输出选择允许进行模拟或数码控制,可用于目前大多数控制和通信配置。为适应您优先选择的价值和功能,该产品线拥有单气体和多气体、多范围的 MFC。多气体、多范围可以通过显著减少备件库存要求降低成本。RS-485 通信(带有转换器的 RS-232)与**的诊断和**报功能相结合,达到了**的监控和控制性能,操作参数就在您的弹指之间。
性能:
**的性、可重复性和稳定性
大幅节约了成本
限度的运行通用性
**的**性
特点:
多气体、多范围选择
模拟、模拟/数码以及数码模式
压电控制阀
多**报和诊断功能
金属密封,泄漏率为1x10-10
电解抛光且超洁净气体湿润表面